1．超純水關鍵指標，TOC和硼；

2．半導體的線寬的不同，對水質的要求不同，線寬越小水質要求越高；

3．電阻值是最容易達到的，TOC是最困難的，三星的水質一般都是0.幾，即使要求1以下；

4．溶解氧，真空脫氣塔，可以做到小于50ppb。10ppb需要使用脫氣膜；

5．顆粒物，去除只有RO和終端超濾；樹脂，幾萬，十幾萬，只有RO 才可以做到100顆以下；

6．ppt=10-12,ppb=10-9,ppm,10-6

7．硅，超濾，足夠的混床可以去除，問題不是很大；

8．現有的儀器，只能監測50nm的顆粒物，可能現在有30nm，但是沒有20nm;

9．除硼，一定要一個可再生的混床，或者強堿型陰樹脂；

10．溶解氧的要求，在進氮封水箱前要有脫氣膜，脫氧之后一定要氮封；

11．氮封儲槽，要內襯PVDF；

12．拋光的循環管線，一定要一直運行，不能停，如果停下來會很久水質才會上升；

13．拋光混床管線持續循環會使溫度升高，一定要加換熱器；

14．循環管線的設計，需要壓差是恒定的，先進先出；

15．水箱，MMF（大顆粒，小于濁度1NTU），活（部分有機物，TOC去除50%左右，自來水中的余氯，保護樹脂，不會影響樹脂），陽，脫，陰（去除離子和TOC，樹脂可以去除70%~80%，可以降到100ppb，可以除硼，水質可以達到1~2MΩ.cm），RO（去除顆粒物，電阻值變化不會太大，小分子有機物進一步去除50%~70%）,UV（剩下的30ppb通過TOC-UV降解后再去除）,DO（如果有氧氣的要求，在進超純水箱前將氧氣脫除）,EH,UV（再通過二級降解，達到要求值，1ppb）,CP,FF（終端超濾必須要有，才能達到顆粒物和細菌的要求）；

16．如果超純水系統對于TOC有要求，最好不要用中水的回用的產水加入到超純水系統中；

17．活性炭的功能，（1）有機物，看吸附量（2）余氯，只是床高的影響，碘值不夠需要更換；

18．陽，脫，陰樹脂，使用工業等級的樹脂，初次使用必須要小心，必須再生3次以上才可以產水，買超純水等級的會比較快；

19．TOC把有機物變成帶電的或變成二氧化碳；

20．TOC-UV有一定的殺菌功能，前半段一般不會長菌，后半段循環系統不能停機，長菌之后會導致超濾堵塞，樹脂裝之前一定要殺菌處理，用雙氧水殺菌；

21．終端超濾，只有旭化成和日東電工的產品，精度截留分子量是6000~8000；

22．TOC進水1000ppb,陽，脫，陰，（小于100ppb），RO50%~60%（50~40）,TOC（需要的水質）；

23．雙級反滲透+EDI，微量金屬很難達到100ppb；

24．進水水質比較差，RO可以在前，再加陽，陰（雙級RO+混床），可以不加脫氣塔；

25．幾萬的顆粒物，有些十幾萬進水，需要RO去除，不能有泄露，RO(100~1000正常，1000以上有問題)，UF （去除到0）；

26．拋光樹脂很難去除硼，沒有強陰樹脂很難去除。RO只能去除40%；自來水，50ppb，海水，經過海水淡化，還會有500ppb，廢水會比較高。

27．超純水產水要求，很高，EDI到氮封，Clean-PVC或PPH，后端拋光混床，一定是PVDF，拋光混床內襯一定PVDF，可再生的混床，要求不是那么高，如果要求高，還是建議使用PVDF；

28．除硼樹脂會釋放的TOC比較多，如果除硼的話，需要放置在反滲透前；樹脂的釋放TOC是帶苯環的，如果再單獨使用TOC可能會將不下來；

29．TOC有要求，最好要求6040，微量金屬要求高，最好也選擇，6040；半導體建議使用6040（5個ppt微量金屬），比較保險；面板廠，可以選擇6150（10個ppt微量金屬）；

30．如果只要求18MΩ，可以使用UPVC管道都沒有問題，但對于TOC或者其他離子的要求，必須使用PVDF材質；

31．用樹脂作為前處理，500ppt，混床50ppt以下；

32．pH提高硼和硅的去除率；

33．樹脂氫型比例達到多少，才可以達到什么的水質；

34．拋光混床的容量，只用到了1%；進超純水水箱之前，要求水質達到最終水質要求，拋光混床只起到保護作用；

35．經過RO之后大分子有機物已經全被去除，小分子必須靠TOC才能去除；

36．陽，陰，脫，至少2~3次的再生，才能去除掉比較多的TOC，不然啟動會出現TOC過高；

37．樹脂的交聯度越高，越不易氧化，越不易釋放TOC；

38．產水6個小時以上的時候，會得到較好的產水；

39．膜本身具有TOC的能力，選擇高脫鹽率的膜，HR系列的膜元件，比較不會釋放TOC，SG半導體的膜會釋放比較少的TOC，TOC比較高的時候，需要使用經過后處理后的膜；SG比普通BW的膜；

40．冬天的時候尿素的有機物，很難被樹脂和RO去除，用SG的半導體的膜，可以去除到比較好的值；

41．苦咸水膜（樹脂+RO，50ppb）,需要1周的時間，SG的膜，1天可以達到要求，SG在廠內已處理；

42．TOC＜1ppb，2B3T至少控制＜100ppb，RO＜20PPb， P MB＜ 5ppb， MB P＜ 1ppb；

43．RO去除硼，pH提高，進水1ppm~1.4ppm,pH調整到10,0.1ppm（100ppb）；很難作為處理到ppt的等級；EDI，只有70%左右的去除效果；

44．RO出水100ppb,RO出水28，EDI，6~7，MB 5ppb，出水不合格；

45．（1）RO前加除硼樹脂，（2）拋光混床前加拋光強堿陰樹脂（經濟性比較差，選可再生的會比較好）；進RO前60ppb，出水可以達到ppt級；除硼樹脂的操作容量0.8g/L樹脂；

46．拋光混床pH值是接近中性的，基本上沒有去除硼的能力；

47．終端超濾有5%的錯流，回到RO之前；回流水是用水的2倍以上會比較好；

48．流速越慢，同等長度的管道釋放的量越多，管道流速，至少要達到1.5~2m/s；

49．在超純水系統，選擇的脫氣膜選脫氧氣的膜就可以，在后段系統基本二氧化碳；

50．流量和流速回水流量如何保證，需要維持一定的線性流速，類似；reverse return設計；

51．回水管線上加254UV或者TOC-UV；

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